Lehrstuhl Integrierte Sensorsysteme

Prof. Dr.-Ing. Andreas König

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SoftMEMS-Explorer für Integrierte Sensorsysteme

Für den Entwurf von Mikrosensoren und Mikrosystemen (MEMS) ist eine speziele CAD-SW über EUROPRACTICE beschafft worden. Ziel der Arbeit ist es, die CAD-SW SoftMEMS-Explorer for Cadence für Zwecke der Ausbildung und Forschung in Betrieb zu nehmen und mit verfügbarer Technologieinformation (Design-Kit) zuverbinden. Anhand beherrschbarer, geeigneter Anwendungsbeispiele und einer verfügbaren Technologie (EUROPRACTICE, MUMPS) soll der Design-Flow zugänglich gemacht, erprobt und, ergänzend zu bestehendem Standardmaterial, prägnant dokumentiert werden. Bei gutem Verlauf soll dabei auch die Anbindung an das Werkzeug ANSYS Multiphysics für FEM-Simulation in seiner reduzierten akademischen Version ergänzend in Angriff genommen werden. Als Ergebnis der Arbeit soll die notwendige Erfahrung und Ausarbeitung für die Erweiterung eines rechnergestützten Labors im Bereich der Mikrosensorik und -systemtechnik mit dem Schwerpunkt auf dem Entwurf integrierter Sensorsysteme vorliegen.

  Betreuer: Prof. Dr.-Ing. Andreas König
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